張 研究室

査読付学術論文｜Journal Papers

• 37. The possibility of ultrasensitive detection of biomolecules using silicon nanowire biosensor with structural optimization

  Hui Zhang,Mayuna Abe, Fumiya Osawa, Yawei Qiu, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone

  Japanese Journal of Applied Physics 63 03SP85-1-03SP85-7 2024年3月12日 DOI_here

• 36. Multiplex Quantification of Exosomes via Multiple Types of Nanobeads Labeling Combined with Laser Scanning Detection

  Masayuki Ono, Hui Zhang, Hayato Sone, Makoto Itonaga

  Analytical Chemistry 2023年10月9日 DOI_here

• 35. Estimation of the Depletion Layer Thickness in Silicon Nanowire-Based Biosensors from Attomolar-Level Biomolecular Detection

  Hui Zhang, Yawei Qiu, Fumiya Osawa, Meiko Itabashi, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone

  ACS Applied Materials & Interfaces 15(16) 19892-19903 2023年4月12日 DOI_here

• 34. Formation of 7-nm-wide Line&Spaces in Half Pitch by 3 Dimensional Self-assembly of Nano-dots Using Sphere Type PS-PDMS

  Sumio Hosaka, Takashi Akahane, Kazumasa Ohyama,Hui Zhang, You Yin, Hayato Sone

  European Journal of Applied Physics 3(6) 84-90 2021年12月 DOI_here

• 33. Design and Fabrication of Silicon Nanowire-Based Biosensor with Integration of Critical Factors: Toward Ultrasensitive Specific Detection of Biomolecules

  Hui Zhang, Naoki Kikuchi, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone

  ACS Applied Materials & Interfaces 12(46) 51808-51819 2020年11月3日 DOI_here

• 32. Fabrication of Ultrahigh-Sensitivity Silicon Nanowire Biosensor by CMOS-Compatible Process for Detecting Biomolecules at Low Concentrations

  Hui Zhang, Kei Okabe, Naoki Kikuchi, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone

  Proceedings of International Conference on Mechanical, Electrical and Medical Intelligent System 2019 (ICMEMIS2019) 2019年12月

• 31. Modeling, Simulation, Fabrication and Characterization of a 10 μW/cm2 Class Si-Nanowire Thermoelectric Generator for IoT Applications

  Motohiro Tomita, Shunsuke Ohba, Yuya Himeda, Ryo Yamato, Keisuke Shima, Takehiro Kumada, Mao Xu, Hiroki Takezawa, Kohei Mesaki, Kazuaki Tsuda, Shuichiro Hashimoto, Tianzhuo Zhan, Hui Zhang, Yoshinari Kamakuri, Yuhei Suzuki, Hiroshi Inokawa, Hiroya Ikeda, Takashi Matsukawa, Takeo Matsuki, Takanobu Watanabe

  IEEE Transaction on Electron Devices 65(11) 5180-5188 2018年11月 DOI_here

• 30. 10μW/cm2-Class High Power Density Silicon Thermoelectric Energy Harvester Compatible with CMOS-VLSI Technology

  Motohiro Tomita, Shunsuke Ohba, Yuya Himeda, Ryo Yamato, Keisuke Shima, Takehiro Kumada, Mao Xu, Hiroki Takezawa, Kohei Mesaki, Kazuaki Tsuda, Shuichiro Hashimoto, Tianzhuo Zhan, Hui Zhang, Yoshinari Kamakuri, Yuhei Suzuki, Hiroshi Inokawa, Hiroya Ikeda, Takashi Matsukawa, Takeo Matsuki, Takanobu Watanabe

  2018 Symposium on VLSI Technology 2018-June 93-94 2018年10月25日 DOI_here

• 29. The possibility of mW/cm2-class on-chip power generation using ultrasmall si nanowire-based thermoelectric generators

  Hui Zhang, Taiyu Xu, Shuichiro Hashimoto, Takanobu Watanabe

  IEEE Transactions on Electron Devices 65(5) 2016-2023 2018年5月1日 DOI_here

• 28. Fabrication of N-type Silicon Nanowire Biosensor for Sub-10-Femtomolar Concentration of Immunoglobulin

  Tomoya Tashiro, Hui Zhang, Kakeru Oshima, Yuya Sakurai, Takaaki Suzuki, Noriyasu Ohshima, Takashi Izumi, Hayato Sone

  Key Engineering Materials 790 28-33 2018年 DOI_here

• 27. 電子線リソグラフィを用いたSiナノワイヤバイオセンサの作製と低濃度抗体検出

  田代 朋也, 大嶋 駆, 櫻井 裕也, 張 慧, 鈴木 孝明, 大嶋 紀安, 和泉 孝志, 曾根 逸人

  電気学会「バイオ・マイクロシステム研究会」 BMS-17-49 11-16 2017年

• 26. 相変化記録の多値化と高速化へのアプローチおよび微細性

  保坂 純男, イン ユウ, 張 慧

  映情学技報 41(21)(MMS2017-48) 25-30 2017年

• 25. A Scalable Si-based Micro Thermoelectric Generator

  Takanobu Watanabe, Shuhei Asada, Taiyu Xu, Shuichiro Hashimoto, Shunsuke Ohba, Yuya Himeda, Ryo Yamato, Hui Zhang, Motohiro Tomita, Takashi Matsukawa, Yoshinari Kamakura, Hiroya Ikeda

  2017 IEEE ELECTRON DEVICES TECHNOLOGY AND MANUFACTURING CONFERENCE (EDTM) 86-87 2017年

• 24. Sub 10 ns fast switching and resistance control in lateral GeTe-based phase-change memory

  You Yin, Yulong Zhang, Yousuke Takehana, Ryota Kobayashi, Hui Zhang, Sumio Hosaka

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 55(6) 06GG07 1-6 2016年6月 DOI_here

• 23. The dependence of crystallization on temperature in the nanosecond timescale for GeTe-based fast phase-change resistor

  Hui Zhang, Yulong Zhang, You Yin, Sumio Hosaka

  CHEMICAL PHYSICS LETTERS 650 102-106 2016年4月 DOI_here

• 22. Advanced nanofabrication and its application to nano phase-change memory for reducing writing current

  You Yin, Dai Nishijo, Keita Sawao, Kazumasa Ohyama, Takashi Akahane, Takuya Komori, Miftakhul Huda, Hui Zhang, Sumio Hosaka

  2016 13th IEEE International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology, ICSICT 2016 - Proceedings 199-202 2016年 DOI_here

• 21. Ordering of 6-nm-sized nanodot arrays with 10-nm-pitch using self-assembled block copolymers along electron beam-drawn guide-lines

  Sumio Hosaka, Takashi Akahane, Miftakhul Huda, Takuya Komori, Hui Zhang, You Yin

  MICROELECTRONIC ENGINEERING 123 54-57 2014年7月 DOI_here

• 20. Estimation of pattern resolution using NaCl high-contrast developer by Monte Carlo simulation of electron beam lithography

  Hui Zhang, Miftakhul Huda, Takuya Komori, Yulong Zhang, You Yin, Sumio Hosaka

  MICROELECTRONIC ENGINEERING 121 142-146 2014年6月 DOI_here

• 19. Controlling of 6 nm Sized and 10 nm Pitched Dot Arrays Ordered along Narrow Guide Lines Using PS-PDMS Self-Assembly

  Sumio Hosaka, Takashi Akahane, Miftakhul Huda, Hui Zhang, You Yin

  ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES 6(9) 6208-6211 2014年5月 DOI_here

• 18. Ordering of self-assembled 5-nm-diameter poly(dimethylsiloxane) nanodots with sub-10nm pitch using ultra-narrow electron-beam-drawn guide lines and three-dimensional control

  Hui Zhang, Sumio Hosaka, You Yin

  APPLIED PHYSICS LETTERS 104(9) 093107 1-4 2014年3月 DOI_here

• 17. Fabrication of 6-nm-sized nanodot arrays with 12 nm-pitch along guide lines using both self-assembling and electron beam-drawing for 5 Tbit/in(2) magnetic recording

  Sumio Hosaka, Takashi Akahane, Miftakhul Huda, Takuya Komori, Hui Zhang, You Yin

  ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING IV 596 73-+ 2014年 DOI_here

• 16. Fabrication of Carbon Nanodot Arrays with a Pitch of 20 nm for Pattern-Transfer of PDMS Self-Assembled Nanodots

  Jing Liu, Miftakhul Huda, Zulfakri Bin Mohamad, Hui Zhang, You Yin, Sumio Hosaka

  ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING IV 596 73-+ 2014年 DOI_here

• 15. Fabrication of 25-nm-Pitched CoPt Magnetic Dot Arrays Using 30-keV-Electron Beam Drawing, RIE and Ion-Milling

  Zulfakri Mohamad, Miftakhul Huda, Takuya Komori, Rosalena Irma Alip, Hui Zhang, You Yin, Sumio Hosaka

  ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING IV 596 92-+ 2014年 DOI_here

• 14. Estimation of HSQ Resist Profile by Using High Contrast Developement Model for High Resolution EB Lithography

  Hui Zhang, Takuya Komori, Jing Liu, Yulong Zhang, Zulfakri Mohamad, You Yin, Sumio Hosaka

  ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING IV 596 97-100 2014年 DOI_here

• 13. Simulation of Fine Resist Profile Formation by Electron Beam Drawing and Development with Solubility Rate Based on Energy Deposition Distribution

  Hui Zhang, Takuya Komori, Yulong Zhang, You Yin, Sumio Hosaka

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 52(12) 126504 1-5 2013年12月 DOI_here

• 12. Volume-change-free GeTeN films for high-performance phase-change memory

  You Yin, Hui Zhang, Sumio Hosaka, Yang Liu, Qi Yu

  JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS 46(50) 505311 1-5 2013年12月 DOI_here

• 11. Dependence of Electron Beam Diameter, Electron Energy, Resist Thickness and Resist Type for Forming Nano-sized Dot Arrays in EB Lithography by Using Monte Carlo Simulation

  Hui Zhang, YuLong Zhang, Sumio Hosaka, You Yin

  American Journal of Nanoscience and Nanotechnology 1 11-16 2013年5月 DOI_here

• 10. Comparison of Nano-sized Pattern of Calixarene and ZEP520 Resists by Using Energy Deposition Distribution

  Hui Zhang, Takuya Komori, Zulfakri Mohamad, You Yin, Sumio Hosaka

  ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING III 534 107-+ 2013年 DOI_here

• 9. Fabrication of 30-nm-Pitched CoPt Magnetic Dot Arrays Using 30-keV-Electron Beam Lithography and Ion Milling for Patterned Media

  Zulfakri Mohamad, Rosalena Irma Alip, Takuya Komori, Takashi Akahane, Hui Zhang, Miftakhul Huda, You Yin, Sumio Hosaka

  ADVANCED MICRO-DEVICE ENGINEERING III 534 118-+ 2013年 DOI_here

• 8. Effect of Salty Development on Forming HSQ Resist Nanodot Arrays with a Pitch of 15×15 nm2 by 30-keV Electron Beam lithography

  Takuya Komori, Hui Zhang, Takashi Akahane, Zulfakri Bin Mohamad, You Yin, Sumio Hosaka

  Key Engineering Materials 534 113-+ 2013年 DOI_here

• 7. Observation of magnetic nanodot arrays using near-field polarization microscope

  Ryosuke Takahashi, Tao Jin, Zulfakri Bin Mohamad, Hui Zhang, Miftakhul Huda, Vu Le Mine Nhat, You Yin, Sumio Hosaka

  Key Engineering Materials 643 9-13 2013年 DOI_here

• 6. Prototype of atomic force microscope with high resolution optical microscope for observing magnetic nanodot arrays

  Tao Jin, Ryosuke Takahashi, Hui Zhang, You Yin, Sumio Hosaka

  Key Engineering Materials 643 185-189 2013年 DOI_here

• 5. Long range ordering of 5-nm-sized dot arrays with a pitch of 10 nm along EB-drawn Guide Lines using PS-PDMS self-assembly

  Hui Zhang, Miftakhul Huda, Jing Liu, Yulong Zhang, Tao Jin, Sumio Hosaka, You Yin

  Key Engineering Materials 643 3-7 2013年 DOI_here

• 4. Electron Beam Lithography of 15× 15 nm2 Pitched Nanodot Arrays with a Size of Less than 10nm Using High Development Contrast Salty Developer

  Takuya Komori,Hui Zhang, Takashi Akahane, Zulfakri Bin Mohamad, You Yin, Sumio Hosaka

  Japanese Journal of Applied Physics 51(6) 06FB02 1-4 2012年6月 DOI_here

• 3. Coercive Force Reduced by Nanometer-sized Dot Pitch in CoPt Magnetic Dot Arrays for Patterned Media Measured by Micro X-Ray Magnetic Circular Dichroism

  Zulfakri Bin Mohamad, Takashi Akahane, Takuya Komori,Hui Zhang, Rosalena Irma Alip, Motohiro Suzuki, M. Takagi, Naomi Kawamura, You Yin, Sumio Hosaka

  Jurnal Teknologi 59(SUPPL.3) 37-39 2012年

• 2. Estimation of nanometer-sized EB patterning using Energy deposition distribution in Monte Carlo simulation

  Hui Zhang, Takuro Tamura, You Yin, Sumio Hosaka

  Key Engineering Materials 497 127-132 2012年 DOI_here

• 1. A New Algorithm of Temperature Control in the Chemical Vapor Deposition Process

  Hui Zhang, DeCheng Yuan

  Journal of Shenyang University of Chemical Technology 24 275--278 2010年

国際会議 |International Conferences

• 42. The Possibility of Ultrasensitive Detection of Biomolecules using Silicon Nanowire Biosensor with Structural Optimization

  Hui Zhang, Mayuna Abe, Fumiya Osawa, Yawei Qiu, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone

  36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023) 2023年11月16日

• 41. Fabrication of Ring-Shaped Multi-Biosensor for in vitro Embryo Evaluation and Measurement of Weight Detection Sensitivity

  Hayato Sone, Kanto Arai, Keisuke Wada, Riho Kakinuma, Akiko Saito, Hui Zhang, Toshiya Sakata

  36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023) 2023年11月16日

• 40. Investigation of Thinning Effect on Sensitivity of Silicon Nanowire Biosensor for Ultra-Sensitive and Specific Biomolecule Detection

  Hui Zhang, Yawei Qiu, Fumiya Osawa, Meiko Itabashi, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone

  35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2022) 2022年11月10日

• 39. (Invited) Fabrication of Ultrahigh-Sensitivity Silicon Nanowire Biosensor by CMOS-Compatible Process for Detecting Biomolecules at Low Concentrations

  Hui Zhang, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone

  3rd International Conference on Mechanical, Electrical and Medical Intelligent System 2019年12月4日

• 38. (Invited) CMOS Friendly Silicon-based Micro Thermoelectric Generator

  Takanobu Watanabe, Motohiro Tomita, Tianzhuo Zhan, Hui Zhang, Takashi Matsukawa, Takeo Matsuki, Yoshinari Kamakuri, Hiroya Ikeda

  5th International Conference on Nanoscience and Nanotechnology 2019年1月28日

• 37. Fabrication of Highly Sensitive Silicon Nanowire Biosensor by Electron Beam Lithography for Detecting Antigen-Antibody Specific Binding at Attomolar Concentration

  Hui Zhang, Noriyasu Ohshima, Kakeru Oshima, Naoki Kikuchi, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi Izumi, Hayato Sone

  5th International Symposium of Gunma University Medical Innovation and 9th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering 2018年12月6日

• 36. Fabrication of Sub-20 nm Width Silicon Nanowire-based Biosensor for Detecting Biomolecules at Attomolar Concentrations

  Hui Zhang, Kakeru Oshima, Naoki Kikuchi, Noriyasu Ohshima, Taira Kajisa, Toshiya Sakata, Takashi, Izumi, Hayato Sone

  The 14th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-14) &The 26th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM26) 2018年10月21日

• 35. Substrate Heat Resistance Engineering for Realizing High Performance Si Nanowires Thermoelectric Generator

  Motohiro Tomita, Takehiro Kumada, Keisuke Shima, Tianzhuo Zhan, Hui Zhang, Takashi Matsukawa, Takeo Matsuki, Takanobu Watanabe

  2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018) 2018年9月9日

• 34. Optimum substrate design of planar type Si nanowire thermoelectric generator

  Keisuke Shima, Motohiro Tomita, Hui Zhang, Tianzhuo Zhan, Takashi Matsukawa, Takeo Matsuki, Takanobu Watanabe

  2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018) 2018年9月9日

• 33. 10μW/cm2-Class High Power Density Silicon Thermoelectric Energy Harvester Compatible with CMOS-VLSI Technology

  M. Tomita, S. Ohba, Y. Himeda, R. Yamato, K. Shima, T. Kumada, M. Xu, H. Takezawa, K. Mesaki, K. Tsuda, S. Hashimoto, T. Zhan, Hui Zhang, Y. Kamakuri, Y. Suzuki, H. Inokawa, H. Ikeda, T. Matsukawa, T. Matsuki, T. Watanabe

  2018 Symposium on VLSI Technology 2018年6月20日

• 32. Polymer Nano-Line Array Pattern Formed by Blockcopolymer Self-Assembly

  Rika Sendai, Hui Zhang, Hayato Sone, Sumio Hosaka

  Gunma International Symposium 2018 (GIS2018) 2018年1月17日

• 31. Fabrication of Silicon Nanowire Biosensor Using Electron Beam Lithography and Low-Concentration Antibody Detection

  Hayato Sone, Tomoya Tashiro, Kakeru Oshima, Yuya Sakurai, Hui Zhang, Takaaki Suzuki, Noriyasu Ohshima, Takashi Izumi

  4th International Symposium of Gunma University Medical Innovation 2017年11月6日

• 30. A Scalable Si-based Micro Thermoelectric Generator

  Takanobu Watanabe, Shuhei Asada, Taiyu Xu, Shuichiro Hashimoto, Shunsuke Ohba, Yuya Himeda, Ryo Yamato, Hui Zhang, Motohiro Tomita, Takashi Matsukawa, Yoshinari Kamakura, Hiroya Ikeda

  Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM2017) 2017年3月2日

• 29. Advanced Nanofabrication and its Application to Nano Phase-Change Memory for Reducing Writing Current

  Y. Yin, D. Nishijo, K. Sawao, K. Ohyama, T. Akahane, T. Komori, M. Huda, Hui Zhang, S. Hosaka

  2016 IEEE 13th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology (ICSICT-2016) 2016年10月25日

• 28. LabVIEW-Controlled Scanning Near-Field Polarization Microscope

  Shun Kozaki, Tao Jin, Hui Zhang, Vuleminh Nhat, Sachiya Nomoto, Hayato Sone, You Yin, Sumio Hosaka, Ken Miura

  11th International Workshop on Radiation Effects on Semiconductor Devices for Space Applications (11th RASEDA) and The 7th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (7th AMDE) 2015年11月11日

• 27. Sub 10 ns Fast Switching and Resistance Control in Lateral GeTe-Based Phase-Change Memory

  You Yin, Yulong Zhang, Yousuke Takehana, Ryouta Kobayashi, Hui Zhang, Sumio Hosaka

  28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2015) 2015年11月10日

• 26. Challenge to Control 5-nm-sized Dot Arrays with a Pitch of 10 nm in a Long-range Order along EB-drawn Guide Lines Using PS-PDMS Self-assembly

  Hui Zhang, Sumio Hosaka, You Yin

  28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2015) 2015年11月10日

• 25. Ordering of either nano-dot arrays or nano-lines along EB-drawn resist guide lines using PS-PDMS self-assembly with a molecular weight of 1.46 kg/mol

  Sumio Hosaka, Mazumasa Ohyama, Hui Zhang, You Yin, Hayato Sone

  41st International Micro & Nano Engineering Conference (MNE 2015) 2015年9月21日

• 24. Thickness Dependence On Ordering of Dots and Lines Along EB-drawn Guide Lines Using Self-assembly of Polystyrene-Poly(dimethyl-siloxane)

  Kazumasa Ohyama, Hui Zhang, Miftakhul Huda, Hayato Sone, You Yin, Sumio Hosaka

  1st International Symposium of Gunma University Medical Innovation (GUMI) and 6th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE) 2014年12月5日

• 23. Observation of Nanometer-Sized Magnetization of PtCo Magnetic Dot Arrays Using Scanning Near-Field Polarization Microscopy

  Sumio Hosaka, Ryosuke Takahashi, Tao Jin, Hui Zhang, Miftakhul Huda, You Yin

  40th International Micro & Nano Engineering Conference (MNE 2014) 2014年9月22日

• 22. Observation of Nanometer-Sized Magnetic Dots and its Magnetization using a Scanning Near-Field Polarization Microscopy

  Sumio Hosaka, Ryosuke Takahashi, Tao Jin, Hui Zhang, Miftakhul Huda, Hayato Sone, You Yin

  3rd International Conference on Advanced Materials and Practical Nanotechnology (3rd ICAMPN) 2014年8月14日

• 21. Scanning Near-field Polarization Microscopy for magnetization of nanometer-sized magnetic column

  Sumio Hosaka, Ryosuke Takahashi, Tao Jin, Zulfakri Bin Mohamad, Hui Zhang, Miftakhul Huda, Hayato Sone, You Yin

  5th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE) 2013年12月19日

• 20. Observation of magnetic nanodot arrays by using scanning near-field polarization microscope

  Ryosuke Takahashi, Jin Tao, Zulfakri Bin Mohanmad, Hui Zhang, Miftakhul Huda, Vuleminh Nhat, You Yin, Sumio Hosaka

  5th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE) 2013年12月19日

• 19. Fabrication of Ultrahigh Density 10-nm-Order Sized Si Nanodot Array by Pattern-Transfer of Block Copolymer Self-Assembled Nanodot Array

  Miftakhul Huda, Hui Zhang, Jing Liu, You Yin, Sumio Hosaka

  5th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE) 2013年12月19日

• 18. Long Range Ordering of Nanodots with Sub-10-nm-Pitch and 5-nm-dot Size using EB-drawn Guide Line and Self-assembly of Polystyrene-Poly(dimethylsiloxane)

  Hui Zhang, Miftakhul Huda, Jing Liu, Yulong Zhang, You Yin, Sumio Hosaka

  5th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE) 2013年12月19日

• 17. Nano-contact for small power consumption in phase change memory

  Sumio Hosaka, Hui Zhang, Miftakhul Huda, You Yin

  25th Symposium on Phase Change Oriented Science 2013年11月28日

• 16. Single-nanodot Arrays and Single-nanohalf-pitch Lines Formed using PS-PDMS Self-assembly and Electron Beam Drawing

  Sumio Hosaka, Miftakhul Huda, Hui Zhang, Takuya Komori, You Yin

  26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2013) 2013年11月5日

• 15. Margin of 30-keV-EB drawing and graphoepitaxy of PS-PDMS self-assembly with EB drawn guide lines for formation of sub-10-nm-sized dot arrays

  Sumio Hosaka, Takashi Akahane, Takuya Komori, Miftakhul Huda, Hui Zhang, You Yin

  39th International Micro & Nano Engineering Conference (MNE 2013) 2013年9月16日

• 14. Estimation of Pattern Resolution Using NaCl High Contrast Developer by Monte Carlo Simulation of Electron Beam Lithography

  Hui Zhang, Takuya Komori, Yulong Zhang, You Yin, Sumio Hosaka

  39th International Micro & Nano Engineering Conference (MNE 2013) 2013年9月16日

• 13. Simulation of Fine Resist Profile Formation by Electron Beam Drawing and Development with Solubility Rate Based on Energy Deposition Distribution

  Hui Zhang, Takuya Komori, Sumio Hosaka, You Yin

  7th International Conference on Materials for Advanced Technologies (ICMAT) 2013年6月30日

• 12. Fabrication of Carbon Nanodot Arrays with a Pitch of 20 nm for Pattern-Transfer of PDMS Self-Assembled nanodots

  Jing Liu, Miftakhul Huda, Hui Zhang, You Yin, Sumio Hosaka

  4th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE) 2012年12月7日

• 11. Fabrication of 25-nm-Pitched CoPt Magnetic Dot Arrays using 30-keV-Electron Beam Drawing, RIE and Ion milling

  Zulfakri Bin Mohamad, Miftakhul Huda, Takuya Komori, Rosalena Irma Alip, Hui Zhang, You Yin, Sumio Hosaka

  4th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE) 2012年12月7日

• 10. A new modeling of Calculating Resist Profile based on Energy Deposition Distribution in Electron beam Lithography

  Hui Zhang, Takuya Komori, Jing Liu, Yu Long Zhang, You Yin, Sumio Hosaka

  4nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE) 2012年12月7日

• 9. The Simulation of Forming Fine Pitched Dot Array with a Dot Size of 10 nm Based on High Development Contrast Property in 30-keV lithography

  Hui Zhang, Takuya Komori, You Yin, Sumio Hosaka

  9th International Symposium on Advancing the Chemical Sciences Challenges in Nanoscience 2012年8月31日

• 8. Fabrication of 30-nm-Pitched CoPt Magnetic Dot Arrays Using 30-keV-Electron Beam Lithography and Ion Milling for Patterned Media

  Zulfakri Bin Mohamad, Takuya Komori, Takashi Akahane, Rosalena Irma Alip, Hui Zhang, You Yin, Sumio Hosaka

  3st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE) 2011年12月8日

• 7. The Effect of Salt Development for Forming HSQ Resist Nanodot Arrays with a Pitch of 15 × 15 nm2 by 30-keV EB drawing

  Takuya Komori, Hui Zhang, Takashi Akahane, Zulfakri Bin Mohamad, You Yin, Sumio Hosaka

  3st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE) 2011年12月8日

• 6. Calculation of High-contrast HSQ resist using Energy Deposition Distribution in EB lithography

  Hui Zhang, Takuya Komori, You Yin, Sumio Hosaka

  3st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE) 2011年12月8日

• 5. EB drawing of 15 nm×15 nm Pitched Nanodot Arrays with a Size of 10nm using High Contrast Developer

  Takuya Komori, Hui Zhang, Takashi Akahane, Zulfakri Bin Mohamad Mohamad, You Yin, Sumio Hosaka

  24th International Micro-processes and Nanotechnology Conference(MNC2011) 2011年10月24日

• 4. Estimation of Nanometer-Scale Patterning of Calixarene Resist in Electron Beam Lithography

  Hui Zhang, You Yin, Sumio Hosaka

  International Conference on Nanoscience and Technology (China Nano) 2011年9月7日

• 3. Fabrication of Nanometer Sized Si Dot Arrays Using Reactive Ion Etching with Metal Dot Arrays

  Takuro Tamura, Hui Zhang, Takashi Akahane, Miftakhul Huda, Takuya Komori, You Yin, Sumio Hosaka

  2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE) 2010年12月9日

• 2. Monte Carlo Simulation of Electron Scattering Processes for High-Resolution Electron Beam Lithography

  Hui Zhang, Takuro Tamura, You Yin, Sumio Hosaka

  2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (AMDE) 2010年12月9日

• 1. A New Algorithm of Temperature Control in the Chemical Vapor Deposition Process

  Hui Zhang

  2nd International Symposium on MONODZUKURI 2009年10月9日

国内会議発表｜Domestic Conferences

• 26. 体外受精卵評価のための リング型マルチバイオセンサ作製と質量応答評価

  柿沼 李帆, 新井 貫人, 和田 圭祐, 齋藤 暁子, 張 慧, 坂田 利弥, 曾根 逸人

  群馬大学Sメンブレン・プロジェクト第4回産学連携交流会 2023年12月11日

• 25. 電子線描画法によるシリコンナノワイヤガスセンサの作製とアンモニアガス反応評価

  神野龍人, 西島大貴, 宮田青空, 張慧, 曾根逸人

  群馬大学Sメンブレン・プロジェクト第4回産学連携交流会 2023年12月11日

• 24. 体外受精卵評価のためのリング型マルチバイオセンサ作製と質量検出感度測定

  和田 圭祐, 新井 貫人, 柿沼 李帆, 齋藤 暁子, 張 慧, 坂田 利弥, 曾根 逸人

  第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月21日

• 23. Siナノワイヤバイオセンサ空乏領域の推測による高感度化要因の解明

  張 慧, 邱 亜威, 大澤 郁弥, 大嶋 紀安, 加治佐 平, 坂田 利弥, 和泉 孝志, 曾根 逸人

  第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月21日

• 22. Siナノワイヤバイオセンサ電気特性と検出感度の幅及び極性依存性

  大澤 郁弥, 張 慧, 邱 亜威, 板橋 芽比子, 大嶋 紀安, 加治佐 平, 坂田 利弥, 和泉 孝志, 曾根 逸人

  第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月21日

• 21. 体外受精卵評価のためのリング型マルチバイオセンサ作製と変位出力測定

  新井貫人, 菊池直樹, 和田圭祐, 齋藤暁子, 張慧, 坂田利弥, 曾根逸人

  量子生命科学先端フォーラム2022冬の研究会 2022年11月27日

• 20. 電子線描画法によるp型およびn型SiNWの作製とFET特性評価

  板橋芽比子, 邱亜威, 大澤郁弥, 大嶋紀安, 和泉孝志, 張慧, 曾根逸人

  量子生命科学先端フォーラム 2022冬の研究会 2022年11月27日

• 19. Siナノワイヤバイオセンサの細線化による生体分子の高感度・特異的検出の実現

  張慧, 邱亜威, 板橋芽比子, 大澤郁弥, 大嶋紀安, 坂田利弥, 和泉孝志, 加治佐平, 曾根逸人

  量子生命科学先端フォーラム 2022冬の研究会 2022年11月26日

• 18. 微小生体分子観察のための近接場蛍光顕微鏡の開発

  金井 元紀, 寺内 優友, 小野 雅之, 張 慧, 曾根 逸人

  量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会 2021年12月16日

• 17. 電子線リソグラフィによる Siナノワイヤセンサの作製とアンモニアガス反応評価

  宮田 青空, 神野 龍人, 村 康太, 斎藤 高弘, 張 慧, 曾根 逸人

  量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会 2021年12月16日

• 16. 2方向観察沈降測定法を用いたマウス受精卵成長過程の質量測定

  菊池 直樹, 齋藤 暁子, 丸山拡希, 吉川 朝哉, 外山 吉治, 佐々木 直哉, 張 慧, 保坂 純男, 坂田 利弥, 曾根 逸人

  量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会 2021年12月16日

• 15. 電子線描画法を用いた超高感度 Siナノワイヤバイオセンサの作製と特性評価

  邱 亜威, 新井 出海, 板橋 芽比子, 大澤 郁弥, 大嶋 紀安, 和泉 孝志, 張 慧, 曾根 逸人

  量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会 2021年12月16日

• 14. 高感度Siナノワイヤバイオセンサ作製のための最適なドーピング濃度の探求

  新井 出海, 邱 亜威, 板橋 芽比子, 大澤 郁弥, 大嶋 紀安, 和泉 孝志, 張 慧, 曾根 逸人

  量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会 2021年12月16日

• 13. 2方向観察沈降測定法を用いたマウス受精卵の成長に伴う質量変化測定

  菊池 直樹, 吉川 朝哉, 斎藤 暁子, 佐々木 直哉, 外山 吉治, 張 慧, 保坂 純男, 坂田 利弥, 曾根 逸人

  第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月19日

• 12. シリコンナノワイヤ細線化によるバイオセンサ検出感度の評価

  張 慧, 岡部 圭, 菊池 直樹, 大嶋 紀安, 加治佐 平, 坂田 利弥, 和泉 孝志, 曾根 逸人

  第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月18日

• 11. 電子線描画法による高感度シリコンナノワイヤバイオセンサの作製およびアトモル濃度の抗原抗体特異結合の検出

  張慧, 大嶋紀安, 大嶋駆, 菊池直樹, 加治佐平, 坂田利弥, 和泉孝志, 曾根逸人

  第66回応用物理学会春季学術講演会 2019年3月9日

• 10. マイクロ熱電発電デバイスのスケーリング戦略

  渡邉 孝信, 富田 基裕, 詹 天卓, 張 慧, 松川 貴, 松木 武雄, 鎌倉 良成, 池田 浩也

  JST-CREST「微小エネルギーを利用した革新的な環境発電技術の創出」領域公開シンポジウム 2018年11月7日

• 　9. プレーナ型Siナノワイヤ熱電発電デバイスの排熱効率を向上する基板材料および貫通基板構造の検討

  富田 基裕, 大場 俊輔, 姫田 悠矢, 大和亮, 島 圭佑, 熊田 剛大, 徐 茂, 武澤 宏樹, 目崎 航平, 津田 和瑛, 橋本 修一郎, 詹 天卓, 張 慧, 鎌倉 良成, 鈴木 悠平, 猪川 洋, 池田 浩也, 松川 貴, 松木 武雄, 渡邉 孝信

  ADMETA Satellite Workshop 2018年11月2日

• 8. 横型Siナノワイヤ熱電変換デバイスの熱エンジニアリング

  富田 基裕, 熊田 剛大, 島 圭佑, 詹 天卓, 張 慧, 松川 貴, 松木 武雄, 渡邉 孝信

  第79回応用物理学会秋季学術講演会 2018年9月20日

• 7. 平面型シリコンナノワイヤ熱電デバイスにおける熱流を制御する最適基板構造

  島 圭佑, 富田 基裕, 張 慧, 詹 天卓, 松川, 松木 武雄, 渡邉 孝信

  第79回応用物理学会秋季学術講演会 2018年9月20日

• 6. 電子線リソグラフィを用いたSiナノワイヤバイオセンサの作製と低濃度抗体検出

  田代 朋也, 大嶋 駆, 櫻井 裕也, 張 慧, 鈴木 孝明, 大嶋 紀安, 和泉 孝志, 曾根 逸人

  電気学会 バイオ・マイクロシステム研究会 2017年10月4日

• 5. 電子線リソグラフィを用いたSiナノワイヤバイオセンサの作製と低濃度抗体検出

  田代 朋也, 大嶋 駆, 櫻井 裕也, 張 慧, 鈴木 孝明, 大嶋 紀安, 和泉 孝志, 曾根 逸人

  電気学会 バイオ・マイクロシステム研究会 2017年10月4日

• 4. In-plane熱流を利用したSiナノワイヤ型熱電デバイスの発電特性におけるAlN熱伝導層幅依存性

  熊田 剛大, 大和 亮, 大場 俊輔, 姫田 悠矢, 徐 茂, 橋本 修一郎, 張 慧, 松川 貴, 渡邉 孝信

  第78回応用物理学会秋季学術講演会 2017年9月7日

• 3. 熱電発電デバイスの微細化戦略

  渡邉孝信, 張慧, 橋本修一郎, 松川貴, 鎌倉良成, 池田浩也

  フォノンエンジニアリング研究グループ・JST「微小エネ」領域合同研究会 2017年7月14日

• 2. p型シリコンナノワイヤを用いた熱電発電デバイスの作製と特性評価

  姫田 悠矢, 橋本 修一郎, 麻田 修平, 徐 泰宇, 大場 俊輔, 大和 亮, 張 慧, 松川 貴, 渡邉 孝信

  第64回応用物理学会春季学術講演会 2017年3月16日

• 1. 30 keV電子線描画法を用いた3 Tbit/in.2 (ピッチ15 nm)超高密度磁気記録用ドット列を形成

  小森琢哉, 張慧, 赤羽隆志

  第72回応用物理学会学術講演会 2011年8月29日

共同研究・競争的資金等の研究課題 |Funding

• 6. 計算科学とナノ微細加工技術を駆使した超高感度Siナノワイヤバイオ センサシステムの創製

  担当区分: 研究代表者

  国立研究開発法人科学技術振興機構 創発的研究支援事業 2021創発的研究支援事業 2022年4月 - 2025年3月

• 5. Siナノワイヤの細線化とアスペクト比調整によるウイルス感染超早期診断の実現

  担当区分: 研究代表者

  日本学術振興会 科学研究費助成事業 若手研究 若手研究 2021年4月 - 2024年3月

• 4. 体液１滴中の多種生体物質を同時検出する超高感度Siナノワイヤバイオセンサの創製

  担当区分: 研究分担者

  研究代表者：曾根 逸人　教授

  日本学術振興会 科学研究費助成事業 挑戦的研究(萌芽) 挑戦的研究(萌芽) 2020年7月 - 2023年3月

• 3. 感染症早期診断のためのSiナノワイヤを用いたサブaM感度バイオセンサの創製

  担当区分: 研究代表者

  日本学術振興会（文部科学省） 科学研究費補助金 研究活動スタート支援 2019年4月 - 2021年3月

• 2. 体外受精卵の成長をモニタリングするリング型マルチ卵重計の創製

  担当区分: 研究分担者

  研究代表者：曾根 逸人　教授

  日本学術振興会（文部科学省） 科学研究費補助金 基盤研究(B) 2019年4月 - 2020年3月

• 1. iPS細胞のガン化を判別する高感度ナノワイヤバイオセンサアレイの創製

  担当区分: 研究分担者　(研究代表者に相当)

  研究代表者：曾根 逸人　教授

  日本学術振興会（文部科学省） 科学研究費補助金 特別研究員奨励費 2017年4月 - 2019年3月