群馬大学 理工学部 電子・機械類 知能制御プログラム
大学院理工学府 電子情報・数理教育領域
張 研究室
理論計算及びナノ微細加工技術を用いて超微細ナノ構造の形成、電子デバイスの作製及び計測に関する研究を行っています。研究室の設備
(2024年4月現在)
3号館315・316室
- クリーンブース
- 反応性イオンエッチング装置
- 真空成膜装置
- 恒温槽
- 顕微鏡 各種
C棟
- ワイヤボンダー
プロジェクト棟 (604)
- 学生居室: 作業台 etc.
研究室の設備 (曾根研)
→ 曾根研究室の Web サイトをご覧ください。